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除了光刻机,光刻胶亦然我国始终被卡脖子的规模。贵府暴露,国产光刻胶自给率近况:EUV为0%,ArF为1%,KrF为5%。 而在2022年,日本光刻机巨头JSR的首席执行官埃里克•约翰逊(Eric Johnson)曾经大放厥词:“即使获知因素,中国也作念不出EUV光刻胶。” 尽管如斯,国内光刻胶一直在勤奋前行,这几日,我国新式光刻胶时刻又迎新冲破。 有望冲破光刻制造共性贫困 证明公众号“ 湖北九峰山实验室”官方讯息,该全自主常识产权时刻,不仅梗概处置光刻制造的共性贫困,其性能也优于大大王人商用光
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